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LCD面板ITO鍍層中ITO激光刻蝕機的應用

發布時間:2018-07-03 來源:元祿光電

ITO是一種透明導電氧化物,中文名叫氧化銦錫,具有良好的透明性和導電性。通常鍍在玻璃或者PET玻璃上作為導電金屬,常見應用于觸摸屏和光伏行業中。

 

LCD面板行業中ITO鍍層良好的透明性和導電性得到廣泛應用,針對LCD行業中ITO的電路形成蝕刻本文列舉以下觀點:

 

ITO刻蝕的方式主要分為兩種一種是化學刻蝕法,一種為激光刻蝕法。

 

化學ITO刻蝕法的優缺點:

優點是加工的速度快,可一次性加工大面積范圍,效率極高。

缺點在于酸,堿性蝕刻液不符合環保的要求及不夠安全,廢液,氣排出后會對周邊環境造成污染;蝕刻線良品低;蝕刻液的濃度,溫度,作用于材料表面的壓力,浸泡時間會對襯底材料的導電ITO產生影響,而且不易控制;絲印油墨本身是化工原料,對人體會有不良的影響;添加的稀釋劑屬于易燃易爆物品,造成不安全隱患。

 

ITO激光刻蝕的特點:

產品良品高;激光蝕刻線工藝是通過控制激光的焦點位置直接作用于被清除ITO層上,對底部襯底材料不會造成影響;激光蝕刻線的線體細,易于電路的設計并可節省材料;激光蝕刻是通過光能將ITO層瞬間氣化,不需要別的輔助材料,不會對環境或是操作工人造成不良的影響;激光蝕刻線的參數全由電腦程序控制,減少人為的操作影響;對于傳統的蝕刻工藝,ITO激光蝕刻機,體積小,占地面積小,無污染,易于設備管理;

 

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ITO激光刻蝕流程

 


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